UR-Z712M-B是horiba数字式压力控制器UR-Z712中的畅销款，控制该压力控制器前端的压力。 控制压力范围0.02M-Bar-9.5M-Bar， 数字通讯； 消除后端压力波动对前端腔体压力的影响（入口控制型）。

UR-Z732M-B控制该压力控制器前端的压力。 horiba数字式压力控制器UR-Z732MB 控制压力范围10-500KPa， 数字通讯 消除后端压力变动对前端腔体压力的影响（入口控制型）

horiba IGS气体质量流量计Z517/Z527MGX IGS接口，EtherCat通讯 小量程0-2sccm，大量程0-50SLM 高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.) 模拟信号输出：0-5VDC，可选数字通讯RS485 F-Net协议

horiba高精度气体质量流量计Z552/Z562MGX 小量程0-100SLM，大量程0-500SLM 高精度：2.0% S.P. (50-100% F.S.); 1% F.S. (≤50% F.S.) 模拟信号输出：0-5VDC，可选数字通讯RS485 F-Net协议

SEC-Z522MGX horiba高精度气体质量流量计Z522/Z532/Z542$n小量程0-20sccm，大量程0-200SLM$n高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.)$n模拟信号输出：0-5VDC，可选数字通讯RS485 F-Net协议

SEC-N122MG质量流量控制器Horiba N100$n特点：1、最小流量1sccm，最大流量1000SLM；2、最高精度0.3% ；3、不受压力影响；3、可选多种数字通讯：RS485、profibus、cc-link、EtherCAT、DeviceNet。

Horiba气体质量流量计SEC-N172R/SEC-N176R特点： 通讯模式：数字式、模拟式； 满量程范围 ：0-300SLM , 可选0-500SLM，0-1000SLM； 模拟输出、数字通讯二选一。

Horiba自动压力控制器R600基本特点： 1、控制类型：背压控制 2、压力范围：300kpa 3、阀门类型: 电磁阀（常闭） 4、输出：模拟0-5V或者数字RS485

Horiba质量流量计SEC-8000系列特点： 高精度±1.0%设定点 高速响应 超洁净设计 符合RoHS标准

SEC-Z500X系列 Horiba质量流量计高精度±1.0%设定点。该质量流量控制器的线性度由多项式近似曲线补偿，并实现在所有流量控制范围内的高精度。为提高实际气体精度，不同工艺气体的标定数据由HORIBA STEC公司的标准气体测量系统测量。 高速响应：装配“可变PID系统”，可在任意两个设定点之间实现1秒响应。可变PID根据流量点设置不断变化。